October 18, 2025
Các ống thủy tinh thạch anh đường kính lớn thường đề cập đến những ống kính có đường kính bên ngoài lớn hơn 100mm, và thậm chí lên đến 500mm hoặc lớn hơn.chúng có ứng dụng không thể thiếu trong nhiều lĩnh vực công nghiệp và công nghệ cao cấp.
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co., Ltd là một nhà sản xuất sản phẩm thạch anh chuyên nghiệp, có thể hỗ trợ tùy chỉnh.
Công ty phù hợp với các dây chuyền sản xuất xử lý lửa trưởng thành và nhóm R & D, bao gồm các dây chuyền sản xuất ống thạch anh đường kính lớn, dây chuyền sản xuất dụng cụ thạch anh,dây chuyền sản xuất thuyền thạch anhCông ty cũng được trang bị một bộ thiết bị xử lý lạnh đầy đủ.
Đối với các dây chuyền sản xuất xử lý ống thạch anh đường kính lớn, công ty có thể làm cho đường kính tối đa OD 1000mm. chiều dài 5000mm. Độ khoan dung đường kính có thể được làm tốt nhất +/- 0,2mm,chẳng là +/- 0,2mm.
Ứng dụng chính của ống thạch anh đường kính lớn là:
1Ngành công nghiệp bán dẫn:
Trong sản xuất chip, ống thạch anh là vật liệu tiêu thụ chính cho các quy trình như khuếch tán, oxy hóa và nung.
· ống lò khuếch tán ngang: Đây là ứng dụng cổ điển nhất. ống thạch anh đường kính lớn phục vụ như buồng phản ứng, và các tấm silicon được đặt bên trong ống.Trong điều kiện nhiệt độ cao, khí đặc biệt (như oxy, nitơ, argon, vv) được đưa vào để thực hiện oxy hóa nhiệt để tạo thành một lớp silicon dioxide,hoặc để giới thiệu tạp chất để thay đổi tính chất điện của siliconĐộ kính của ống lò cần phải đủ lớn để chứa "chiếc thuyền thạch anh" mang một số lượng lớn các miếng silicon.
· lò ống dọc: Với sự tiến bộ của công nghệ, quá trình dọc đã trở thành chủ đạo.và silicon wafers được đặt theo chiều dọc bên trong các ống cho các quy trình như LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) và khuếch tánCác quy trình này có yêu cầu cực kỳ cao về độ tròn, chiều dọc và chất lượng nội tại của ống thạch anh.
![]()
2Ngành công nghiệp quang điện (sản xuất pin mặt trời)
Tương tự như ngành công nghiệp bán dẫn, nó được sử dụng để sản xuất các tế bào silic tinh thể năng lượng mặt trời.