Những người mang wafer thạch anh tinh khiết trở thành các vật liệu tiêu thụ cốt lõi cho lò chân không-Amy
2026/07/10
Các chất mang wafer thạch anh có độ tinh khiết cao (thuyền thạch anh) là những thiết bị cố định thiết yếu bên trong lò chân không bán dẫn cho các quá trình ủ, LPCVD, quá trình oxy hóa và khuếch tán.
Được làm từ 99,995% silica nung chảy, chúng có hàm lượng tạp chất kim loại cực thấp để tránh ô nhiễm tấm bán dẫn trong điều kiện chân không cao. Với độ giãn nở nhiệt cực thấp và quá trình ủ giảm ứng suất hoàn toàn, các vật mang giữ ổn định về kích thước trong các chu kỳ nhiệt 1000–1200oC lặp đi lặp lại, chống sốc nhiệt và biến dạng.
Trơ về mặt hóa học đối với flo, khí axit và khí mang, bề mặt nhẵn được đánh bóng làm giảm sự bong tróc hạt và trầy xước do phoi. Rãnh chính xác giữ cho các tấm wafer cách đều nhau để có dòng nhiệt và khí đồng đều, ổn định độ dày màng và hiệu suất điện.
Kích thước tùy chỉnh cho tấm wafer 4/6/8/12 inch có sẵn để phù hợp với lò nung ống chân không ngang và dọc. Các hãng thạch anh trong nước có chất lượng tương đương với nhập khẩu với thời gian thực hiện ngắn hơn và chi phí thấp hơn, hỗ trợ sản xuất hàng loạt chip, pin mặt trời và vật liệu quang điện tử.
