Bảng đào thạch anh mờ: Vật liệu bảo vệ bức xạ nhiệt phản xạ cao cho bán dẫn-Mia

Tổng quan dự án

• Khách hàng: Nhà sản xuất thành phần thiết bị quang điện Hàn Quốc

• Sản phẩm: Các tấm thạch anh đục không trong suốt (để bảo vệ bức xạ nhiệt trong lò PECVD)

• Nhà cung cấp: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• Vật liệu: Thạch anh mờ tinh khiết cao

• Tính chất chính: Độ phản xạ hồng ngoại ≥ 85%, dẫn nhiệt ≤ 1,4 W/m·°C

• Ứng dụng: Lớp cách nhiệt cho các chất nhạy graphit trong lò ống PECVD quang điện, lớp bảo vệ bức xạ nhiệt cho lò khuếch tán,Vỏ bảo vệ cho các buồng xử lý nhiệt nhiệt độ cao

• Các quy trình cốt lõi: cắt kim cương dây cưa, khắc chính xác CNC, lắp hai mặt, kết thúc cạnh không có burr, khoan chính xác

Các điểm đau ban đầu của khách hàng

1. Không đủ bảo vệ nhiệt bằng thạch anh trong suốt

Khách hàng trước đây đã sử dụng các tấm thạch anh trong suốt như là tấm che bức xạ trong lò ống PECVD của họ.dẫn đến nhiệt quá mức đạt đến các bức tường bên ngoài lòĐiều này gây ra sự lão hóa nhanh chóng của các vòng O, cảm biến và đường làm mát bằng nước ngoại vi, yêu cầu ngừng bảo trì mỗi 4-6 tuần, làm tăng đáng kể chi phí thời gian ngừng hoạt động.

2. Cấu trúc ghép dẫn đến rò rỉ nhiệt và thất bại cơ khí

Nhà cung cấp trước đây chỉ có thể sản xuất các tấm thạch anh mờ có kích thước nhỏ (tối đa 300 × 200 mm), đòi hỏi phải ghép nhiều mảnh với nhau cho các khu vực bảo vệ lò lớn.Ở nhiệt độ hoạt động khoảng 400 °C, rò rỉ bức xạ nhiệt thông qua các khoảng trống ghép đạt mức không thể chấp nhận được.gây tổn hại đến hiệu quả bảo vệ và đôi khi dẫn đến gãy đĩa.

3. Chứng kiến sự khó khăn trong việc cài đặt

Mỗi tấm chắn đều yêu cầu nhiều lỗ vị trí và kênh luồng không khí.với các bức tường lỗ thô dễ bị nứtĐiều này buộc khách hàng phải làm lại thủ công mỗi lô hàng - một quá trình tốn thời gian tiêu tốn khoảng 30 phút mỗi tấm - trì hoãn đáng kể lịch trình lắp ráp lò.

Các giải pháp và lợi thế của chúng tôi

1- Vật liệu thạch anh không mờ cao cấp với phản xạ nhiệt vượt trội

Chúng tôi đã chọn các vỏ thạch anh mờ tinh khiết cao với các bong bóng vi mô phân bố đồng đều (trường kính 10 ‰ 100 μm, hàm lượng ≥ 20%), đạt được độ phản xạ hồng ngoại ≥ 85% trên 2Phạm vi bước sóng 516 μmĐộ dẫn nhiệt chỉ 1,4 W / m · ° C vượt trội đáng kể so với thạch anh trong suốt (1,6 ⋅ 1,8 W / m · ° C), ngăn chặn hiệu quả chuyển nhiệt bức xạ đến tường ngoài lò.Các vật liệu vốn có hệ số mở rộng nhiệt thấp (5.4×10−7/°C) đảm bảo khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, ngăn ngừa gãy hoặc tách lớp trong chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại.

2. Định dạng lớn một mảnh hình thành loại bỏ khoảng trống splice

Tận dụng các trung tâm gia công CNC định dạng lớn của chúng tôi, chúng tôi có thể sản xuất các tấm thạch anh mờ một mảnh lên đến 800 × 600 mm, hoàn toàn loại bỏ khoảng trống nối và các vấn đề rò rỉ nhiệt liên quan.Đối với các mô hình lò khác nhau của khách hàng, chúng tôi cung cấp các giải pháp một phần toàn bộ từ 200 × 200 mm đến 650 × 450 mm, đảm bảo tích hợp liền mạch với các thiết kế thiết bị hiện có.

3. Chạy lỗ chính xác đảm bảo lắp đặt chính xác

Sử dụng các trung tâm khoan CNC được trang bị khoan kim cương, chúng tôi luôn đạt được:

• Độ khoan độ đường kính lỗ: ±0,02 mm

• Độ chính xác vị trí lỗ: ±0,03 mm

• Độ thô của tường lỗ sau khi đánh bóng: Ra ≤ 0,4 μm

• Các cạnh lỗ không có đục và không có mảnh vỡ

Độ chính xác này loại bỏ sự cần thiết phải làm lại bằng tay, cho phép lắp đặt ngay lập tức khi nhận được.

Kết quả hợp tác và phản hồi của khách hàng

1. Cải thiện bảo vệ nhiệt đáng kể

Sau ba tháng hoạt động liên tục trong lò ống PECVD,các tấm thạch anh lỗ mờ đạt được giảm nhiệt độ khoảng 45 ° C ở bề mặt tường ngoài lò so với dung dịch thạch anh trong suốt trước đóThời gian sử dụng của các thành phần ngoại vi (O-ring, cảm biến, đường làm mát) được kéo dài từ 4-6 tuần đến hơn 6 tháng, giảm tần suất bảo trì 75%.

2Hiệu quả lắp ráp được cải thiện đáng kể

Thiết kế hình thành một phần loại bỏ các thủ tục ghép, trong khi vị trí lỗ chính xác cao cho phép lắp đặt plug-and-play.Thời gian lắp ráp lò cho mỗi đơn vị đã được giảm từ khoảng 2 giờ xuống 45 phút, giảm 62% cho phép khách hàng tăng tốc các lịch trình gia tăng sản xuất.

3. Tuổi thọ sản phẩm vượt quá mong đợi

Dưới điều kiện hoạt động liên tục 400 ° C, lô đầu tiên của 800 miếng đã duy trì hoạt động trong hơn 12 tháng mà không bị gãy, biến dạng,hoặc loại bỏ lớp bề mặt, đạt tuổi thọ dài gấp bốn lần so với các sản phẩm của nhà cung cấp trước đó.