Độ minh bạch cao Màn kính kính đá thạch anh cho Singapore Semiconductor-Mia

Tổng quan dự án

• Khách hàng: Nhà sản xuất thành phần thiết bị chân không bán dẫn có trụ sở tại Singapore

• Sản phẩm: Các đĩa cửa sổ quan sát silica nóng chảy tinh khiết cao (các thành phần khung nhìn quang tròn)

• Nhà cung cấp: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• Vật liệu: Silica nóng chảy tinh khiết cao (sạch SiO2 ≥ 99,99%, hàm lượng hydroxyl thấp)

• Ứng dụng: Cửa sổ quan sát cho buồng chân không trong thiết bị khắc plasma bán dẫn và lắng đọng màng mỏng, được sử dụng để theo dõi quá trình trực quan và kiểm tra quang học thời gian thực

• Các quy trình cốt lõi: Tắt đĩa thạch anh chính xác, sơn và đánh bóng hai mặt quang học, sơn cạnh, kiểm tra kích thước.

Các điểm đau ban đầu của khách hàng

1. Không đủ truyền của các cổng quan sát kính tiêu chuẩn ảnh hưởng đến độ chính xác giám sát quy trình

Khách hàng trước đây đã sử dụng kính thép thép thấp tiêu chuẩn làm cửa sổ quan sát cho buồng chân không.Độ truyền ánh sáng giảm mạnh trong quang phổ cực tím sâu đến cận hồng ngoại (đặc biệt dưới 300nm)Điều này ngăn cản việc quan sát chính xác trạng thái plasma và điều kiện bề mặt wafer trong quá trình xử lý, ảnh hưởng đến tính kịp thời và chính xác của các điều chỉnh tham số quy trình.

2. Sự không phù hợp của sự mở rộng nhiệt gây ra sự cố dịch vụ nhiệt độ cao

Các quy trình khắc và lắng đọng bán dẫn liên quan đến chu kỳ nhiệt độ phòng thường xuyên.không phù hợp với các miếng lót kim loạiTrong chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại, các vết nứt căng thẳng phát triển, với tuổi thọ trung bình dưới 6 tháng.

3- Không đủ bề mặt kết thúc ảnh hưởng đến độ chính xác kiểm tra quang học

Khách hàng lắp đặt thiết bị kiểm tra quang học (máy quang phổ, interferometer laser) bên ngoài buồng, đòi hỏi độ thô bề mặt cực kỳ thấp và độ chính xác hình ảnh bề mặt cao.Các sản phẩm của nhà cung cấp cũ chỉ đáp ứng chất lượng bề mặt công nghiệp chung (S/D 80/50), với tổn thất phân tán đáng kể làm suy giảm tỷ lệ tín hiệu-gọi với tiếng ồn trong phát hiện quang học.

Các giải pháp và lợi thế của chúng tôi

1- Vật liệu silic hợp kim cao độ tinh khiết với truyền thông cao băng tần rộng

Chúng tôi đã chọn vật liệu silica nóng chảy tinh khiết cao (SiO2 ≥ 99,99%) có độ truyền cao băng tần rộng từ cực tím sâu (185nm đến hồng ngoại gần (2500nm).truyền trong khu vực DUV được cải thiện đáng kể, đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy trong giám sát quy trình và kiểm tra quang học.

2. Tỷ lệ mở rộng nhiệt thấp với sự ổn định chu kỳ nhiệt tuyệt vời

Tỷ lệ mở rộng nhiệt của silica nóng chảy chỉ là 5,4 × 10−7 ° C, thấp hơn đáng kể so với thủy tinh tiêu chuẩn.thay đổi kích thước là tối thiểu, cung cấp sự phù hợp nhiệt tuyệt vời với vòm kim loại và loại bỏ rủi ro nứt căng thẳng.

3. Độ tinh khiết cao, hàm lượng tạp chất thấp đảm bảo vệ sinh môi trường chân không

Chọn vật liệu silica nóng chảy hydroxyl thấp với hàm lượng tạp chất kim loại được kiểm soát ở mức ppb. Không có khí thải hoặc ô nhiễm xảy ra trong điều kiện chân không nhiệt độ cao,đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về độ sạch phòng nghiêm ngặt của các quy trình khắc và lắng đọng bán dẫn.

Kết quả hợp tác và phản hồi của khách hàng

1. Độ chính xác giám sát quá trình được cải thiện đáng kể

Sau khi áp dụng các cửa sổ silica nóng chảy tinh khiết cao, khách hàng có thể quan sát rõ sự phân bố plasma và điều kiện bề mặt wafer trong buồng trong quá trình khắc plasma.Thời gian điều chỉnh tham số quy trình được cải thiện khoảng 25%, với năng suất wafer tăng khoảng 3%.

2. Thời gian sử dụng cửa sổ kéo dài đáng kể

Fused silica windows have been operating continuously in semiconductor vacuum chambers for over 18 months without stress cracks or transmittance degradation—more than 3 times the service life of standard glass windowsChi phí bảo trì và thời gian ngừng hoạt động của dây chuyền sản xuất đã giảm đáng kể.

3Chất lượng tín hiệu kiểm tra quang học được tối ưu hóa

Kết thúc bề mặt cấp quang học (Ra < 1nm, S / D 40/20) làm giảm đáng kể sự mất mát phân tán ánh sáng. Tỷ lệ tín hiệu-gọi với tiếng ồn cho các máy quang phổ và các máy can thiệp laser được cải thiện khoảng 40%,cung cấp hỗ trợ dữ liệu thời gian thực chính xác hơn cho kiểm soát quy trình.

4. Đơn đặt hàng hàng loạt liên tục ổn định

Sau khi đặt hàng thử nghiệm thành công 200 chiếc, khách hàng đã ký một thỏa thuận khung hàng năm với đơn đặt hàng trung bình hàng tháng là 200-300 chiếc.Cửa sổ quan sát silica đã được kết hợp vào danh mục mua sắm các thành phần tiêu chuẩn của khách hàng.