CVD Quartz Tube cho khách hàng bán dẫn Thổ Nhĩ Kỳ-Amy

1. Tổng quan dự án

• Khách hàng: Nhà sản xuất thiết bị CVD của Thổ Nhĩ Kỳ
• Sản phẩm: Ống thạch anh silic nung chảy có độ tinh khiết cao
• Chất liệu: Thạch anh hydroxyl thấp JGS2
• Ứng dụng: Buồng phản ứng nhiệt độ cao cho lớp phủ wafer

2. Những thách thức của khách hàng

1. Các ống thạch anh thông thường dễ bị đông cứng dưới nhiệt độ nung liên tục 1100°C.
2. Độ dày thành không đồng đều ảnh hưởng đến tính đồng nhất của hệ thống sưởi và chất lượng wafer.
3. Giấy chứng nhận kiểm tra vật liệu riêng biệt và báo cáo kích thước phức tạp trong việc kiểm tra nhà máy.
4. Thời gian sản xuất dài từ nhà cung cấp cũ làm chậm trễ việc giao thiết bị.

3. Giải pháp của chúng tôi

1. Sử dụng nguyên liệu thô JGS2 có hàm lượng hydroxyl thấp để chống sương mù ở nhiệt độ cao.
2. Tạo hình quay chính xác để kiểm soát dung sai độ dày của tường trong phạm vi ± 0,1mm.
3. Hợp nhất TC vật liệu và dữ liệu kiểm tra kích thước thành một báo cáo hoàn chỉnh.
4. Bố trí dây chuyền sản xuất chuyên dụng để rút ngắn chu kỳ giao hàng.

4. Kết quả hợp tác

• Không bị thủy tinh hóa sau thời gian dài vận hành lò, nâng cao năng suất wafer.
• Đơn hàng số lượng lớn hàng tháng ổn định sau khi thử nghiệm.
• Thủ tục kiểm toán được đơn giản hóa nhờ các tài liệu chứng nhận được tích hợp.
• Khách hàng đã giới thiệu chúng tôi với hai đối tác bán dẫn địa phương.

5. Hiểu biết thị trường