Trường hợp dự án: ống thủy tinh thạch anh tinh khiết cao

Tổng quan về trường hợp

Điểm đau của khách hàng trước khi hợp tác

1. Các ống thủy tinh borosilicate gốc biến dạng ở nhiệt độ hoạt động trên 900 °C, gây rò rỉ khớp vòm và môi trường chân không không ổn định.
2. Các ống thạch anh hàn thông thường mà không bị nóng bỏng dễ bị nứt sau các chu kỳ lạnh và nóng lặp đi lặp lại, chi phí thay thế cao và mất thời gian ngừng sản xuất.
3. Sự khoan dung kích thước không kiểm soát được của các miếng kẹp, phù hợp kém với các thiết bị niêm phong kim loại của khách hàng, năng suất chế biến thấp.
4. Vật liệu thô thạch anh tinh khiết thấp đã gây ô nhiễm ion kim loại, ảnh hưởng đến độ chính xác xử lý wafer.

Giải pháp ống Flange Quartz tùy chỉnh của chúng tôi

1. Lựa chọn vật liệu: Sử dụng 99,99% silic hợp chất cao độ tinh khiết với hàm lượng hydroxyl thấp, không có tạp chất kim loại, tương thích với quá trình cực sạch bán dẫn.
2. Phân lề hàn nóng tích hợp: Phân lề thạch anh hợp nhất trên một / cả hai đầu của thân ống, đường hàn cường độ cao, được sơn hoàn toàn để loại bỏ căng thẳng bên trong, chống sốc nhiệt.
3. Máy CNC chính xác: Chiều kính bên ngoài tùy chỉnh, độ dày tường, chiều dài ống, đường kính bên ngoài vòm, vị trí lỗ cuộn và khẩu độ với độ khoan độ nghiêm ngặt ± 0,02mm.
4. Điều trị bề mặt: Lửa đánh bóng bên trong và bên ngoài tường ống, mịn mà không có bong bóng, trầy xước hoặc vết nứt vi mô, truyền tia cực tím và ánh sáng nhìn thấy tuyệt vời.
5. Tùy chỉnh cấu trúc: Hỗ trợ một sườn, sườn kép, đáy mái vòm đóng, cấu trúc chống áp suất cao tường dày theo yêu cầu vẽ của khách hàng.

Việc giao hàng và hiệu quả hoạt động thực tế

• Không rò rỉ dưới chân không cao và nhiệt độ hoạt động liên tục 1150 °C;
• Không bị nứt sau 100 thử nghiệm chu kỳ nhiệt, tuổi thọ tăng hơn 3 lần;
• Không có sự ô nhiễm, năng suất sản phẩm wafer được cải thiện 16%;
• Kích thước vòm tiêu chuẩn phù hợp hoàn hảo với các bộ phận kẹp và niêm phong hiện có của khách hàng, giảm đáng kể thời gian lắp ráp thiết bị.