Nghiên cứu trường hợp: Ống lò silic hợp kim-Amy
Được xuất bản vào ngày: June 24, 2026
1. Lịch sử khách hàng
Một nhà sản xuất bán dẫn công suất 8 inch sử dụng lò khuếch tán dọc ở 1050 ~ 1180 ° C để oxy hóa và tăng cường.Độ truyền hồng ngoại và kháng devitrification.
2. Các vấn đề ban đầu với ống silic thông thường
Các ống được đánh bóng bằng lửa JGS1 trước đây gây ra nhiều khiếm khuyết sản xuất:
- Hàm lượng OH cao dẫn đến sự thâm nhập hồng ngoại kém và không đồng đều nhiệt độ trường, làm giảm năng suất wafer.
- Các tạp chất kim loại cao gây ra sự khử thủy tinh nhanh chóng và nứt thường xuyên; ống cần phải được thay thế mỗi 45 ngày.
- Các hạt được đánh bóng bằng lửa mờ dẫn đến niêm phong chân không kém và nồng độ khí quá trình không ổn định.
3. Giải pháp tối ưu: FS03 ống silic
- Vật liệu: FS03 silic hợp hạch, SiO2 ≥ 99,995%, OH− < 10 ppm, tạp chất cực thấp.
- Bề mặt: Làm bóng gương hoàn toàn trong suốt cho các ống, miếng lót và hạt thạch anh (không làm bóng bằng ngọn lửa).
- Cấu trúc: Tường dày, hàn giảm căng thẳng để chống sốc nhiệt cao.
4. Kết quả thử nghiệm và sản xuất
- Sự khác biệt nhiệt độ bên trong lò giảm từ ± 12 °C xuống ± 3 °C.
- Sản lượng wafer tăng 6,8%; tuổi thọ được kéo dài từ 45 ngày lên 180 ngày.
- Các thất bại rò rỉ chân không giảm 95%; ít ngừng sản xuất để thay thế ống.
5Kết luận
FS03 ống lò đánh bóng rõ ràng giải quyết rủi ro đồng nhất nhiệt độ và ô nhiễm, giảm chi phí bảo trì và thúc đẩy sản xuất hàng loạt ổn định cho các quy trình nhiệt bán dẫn.
